HMT – RGA dwumodułowy

Zakres zastosowań

• Diagnostyka próżni, monitorowanie procesów przy niezbyt wysokiej próżni – rzędu 10^-3 mbar

• Wykrywanie niespodziewanych zanieczyszczeń

• Zastosowanie w procesach typu: CVD, trawienie, PECVD i PVD

• 

Rodzaj detektora

Detektor Faradaya – standardowo, opcjonalnie powielacz elektronów

Czułość (minimalne wykrywalne ciśnienie cząstkowe gazu) mbar

10^-13 mbar

Zakres mas

100 amu

Maksymalny zakres ciśnień pracy

4 x 10^-3

Szczególne cechy

Wyjątkowa możliwość pracy przy wysokich ciśnieniach dzięki wykorzystaniu specjalnej unikalnej kombinacji układu źródło/filtr masowy oraz możliwości oprogramowania bez konieczności „pompowania wyrównawczego” (differentia pumping)

*Oprogramowanie MASsoft
*Mieszane rodzaje skanowania
*Odejmowanie tła w czasie rzeczywistym
*Możliwość szybkiego przesyłania danych do innych urządzeń – Dynamic Data Exchange

Wymiary głowicy, rodzaj montażu, długość elementu pomiarowego

DN-35-CF (70mm OD Conflat type)